华虹半导体哀求 HBT 器件制造办法专利,提高制造听从
金融界 2025 年 1 月 25 日消息,国度知识产权局信息体现,华虹半导体(无锡)仅限公司、上海华虹宏力半导体制造仅限公司哀求一项名为“HBT 器件的制造办法”的专利,公开号 CN 119342846 A,哀求日期为 2024 年 9 月。
专利择要体现,公开了一种HBT 器件的制造办法,包含:提供一衬底,衬底中构成有断绝层,衬底和断绝层上构成有第一电介质层,第一电介质层上构成有第一多晶硅层,第一多晶硅层上构成有第二电介质层,第二电介质层上构成有第三电介质层,第三电介质层上构成有第四电介质层;第一目标地区的第一多晶硅层、第二电介质层、第三电介质层和第四电介质层,在第一目标地区构成第一沟槽;在第一沟槽的侧壁构成第五电介质层;去除第四电介质层和第一沟槽下方的第一电介质层,在第一沟槽下方构成第二沟槽,第二沟槽底部的衬底暴露,第二沟槽的宽度大于第一沟槽的宽度;在第二沟槽中生长单晶硅层;去除第一沟槽侧壁的第五电介质层;在第一沟槽和第二沟槽中添补锗硅层。
天眼查材料体现,华虹半导体(无锡)仅限公司,建立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息武艺办事业为主的企业。企业注册本钱253685.180069万美元,实缴本钱253685.180069万美元。经过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)仅限公司共对外投资了1家企业,到场招投标项目2928次,专利信息1575条,别的企业还拥有行政允许114个。
本文源自金融界