芯源微电子取得涂胶显影装备专利，便于层间机器手直接取放片盒中的晶圆

金融界2024年12月20日消息，国度知识产权局信息体现，沈阳芯源微电子装备股份仅限公司取得一项名为“一种涂胶显影装备”的专利，受权告示号CN 222167415 U，哀求日期为2023年12月。

专利择要体现，本实用新型触及半导体制造范畴，提供了一种涂胶显影装备，包含：片盒存放单位、片盒装载单位、层间机器手以及片盒机器人，所述片盒机器人包含：X轴滑轨，沿所述X轴朝向设置；X轴挪动部，滑动毗连于所述X轴滑轨上并被设置于沿所述X轴朝向挪动；以及抓取片盒手指，经过旋转轴毗连于所述X轴挪动部并被设置于抓取所述片盒在所述X轴朝向和所述Y轴朝向之间旋转，本实用新型设置了片盒机器人，可以经过X轴滑轨共同X轴挪动部在片盒存放单位和片盒装载单位之间挪动，并转达片盒，同时，片盒机器人还可以抓取片盒后经过旋转轴旋转90度使得片盒朝向层间机器手，便于层间机器手可以直接取放片盒中的晶圆，全体布局简便，适于实用。

本文源自金融界