南京埃米仪器科技取得压阻自感应原子力显微镜三自由扫描器专利，保证扫描器可控移动且拆装方便

南京埃米仪器科技取得压阻盲目得原子力显微镜三自在扫描器专利，确保扫描器可控挪动且拆装便利

金融界2024年12月4日消息，国度知识产权局信息体现，南京埃米仪器科技仅限公司取得一项名为“压阻盲目得原子力显微镜三自在扫描器”的专利，受权告示号 CN 222086908 U，哀求日期为2024年3月。

专利择要体现，本实用新型公开了一种压阻盲目得原子力显微镜三自在扫描器，包含X?Y挪动机构、基板和Z挪动机构，X?Y挪动机构设置在基板内，X?Y挪动机构上的X?Y输入端设置在基板的外部，X?Y输入端在X?Y弹性铰链的作用下沿X、Y朝向挪动，Z挪动机构与X?Y输入端毗连，Z挪动机构中的Z输入端在Z弹性铰链的作用下沿Z向挪动。优点，设置在基板内的X压电陶瓷和Y压电陶瓷，完成设置在基板外部且与X?Y弹性铰链毗连的X?Y输入端在X、Y朝向上的可控挪动，又把Z挪动机构安装在设置在基板外部的X?Y输入端上，确保了扫描器全体具有在X、Y、Z三个朝向上可控挪动的同时也增大了探针安装和拆取的空间，拆装便利的同时也避免探针拆装历程中探针毁坏。

本文源自金融界